硅片拋光機(jī)如何解決這個(gè)矛盾的最好的辦法就是把拋光分為兩個(gè)階段進(jìn)行。粗拋目的是去除磨光損傷層，這一階段應(yīng)具有最大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是次要的考慮，不過(guò)也應(yīng)當(dāng)盡可能??；其次是精拋(或稱終拋)，其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到最小。
硅片拋光機(jī)不是碾除整體的糠層，是通過(guò)碾除細(xì)微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉細(xì)粒，拋光機(jī)拋光和碾白從工作方面比較存在著很大的差別，拋光機(jī)拋光壓力很低，拋光機(jī)拋光米粒的時(shí)候流體密度很小，拋光時(shí)米粒離開(kāi)鐵輥的速度很快，而且拋光機(jī)單位產(chǎn)量拋光運(yùn)動(dòng)面積很大。

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